上海市经信委组织半导体生产装备

关键陶瓷材料产业对接会

   9月8日，半导体生产装备关键陶瓷材料产业对接会在上海卡贝尼公司召开，上海经信委、上海集成电路行业协会、上海市新材料协会，中科院上海硅酸盐所，上海微电子，中微、中芯国际、华力，华宏宏力、台积电、凯世通、盛美、先进半导体等半导体装备和半导体生产企业参加了会议。会议旨在推动半导体关键陶瓷零部件国产化，以本次陶瓷材料对接会为契机，建立集成电路行业和新材料行业的产业对接。
   会中参观了卡贝尼公司的陶瓷生产车间和研发实验室和样品展示间，与会企业对卡贝尼的精密陶瓷生产技术、管理和设备表示肯定，中微、中芯国际交流了产品的使用体验，并作为用户就质量稳定性管理、产品指标标注等方面对卡贝尼提出了中肯的建议。上微建议卡贝尼能够在碳化硅材料上有更多突破。台积电、凯世通、华力微电子等企业参观生产现场后表示愿意后续开展深入交流。
   同时集成电路行业协会和新材料协会参会代表参观企业后表示，半导体装备关键零部件实现国产化可以避免过度依赖国外装备和零件，也能带动材料产业的发展，希望市经信委能更多召开此类对接会。硅酸盐所代表表示硅所愿意在陶瓷材料领域与卡贝尼等企业在陶瓷、碳化硅等材料制备和精加工领域深入开展合作，实现强强联合。
    最后，新材料处李慧民副处长指出，材料企业应该深入理解用户的需求和痛点，不仅做到能生产，还要做到有完善的质量体系和标准，并能根据用户需求保证产品性能的稳定性。希望行业协会之间加强上下游领域的对接与交流，我们政府也将在合适的时机，会多组织一些类似的对接会活动。（新维摘编）