致力于产学研用紧密合作

加快陶瓷材料创新发展步伐

 上海卡贝尼精密陶瓷有限公司（简称卡贝尼）成立于2004年，是国内知名的集科研、生产、经营于一体，具备先进陶瓷全面解决方案的本土企业，也是国内拥有超大规格精密陶瓷部件生产技术、知识产权的公司，在先进陶瓷产品开发领域拥有重要的地位。卡贝尼位于上海市浦东新区川沙镇界龙大道，下设川沙生产基地与祝桥生产基地，并在美国硅谷设立销售分公司，服务于海外客户。卡贝尼先后成为上海市新材料协会会员单位、国际半导体设备与材料会员单位、国家集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟理事单位，并荣获“上海市高新技术企业”称号。

 卡贝尼主导产品为使用进口高纯氧化铝、氧化锆、碳化硅等原料制成的各类先进陶瓷结构产品与功能产品，属国家重点支持的战略性新兴产业。产品应用领域包括半导体、LED/LCD、医疗器械、航天船舶、军工安防等高科技领域。其中，半导体行业所需的精密陶瓷部件是目前公司的重点产品。

 卡贝尼非常注重产学研用合作，同时也是上海同济大学、上海大学、上海理工大学产学研合作单位，同济大学硕士研究生实习基地。此外，公司也同美国佛罗里达大学、中国钢冶科技集团有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所等科研机构等建立了长期紧密的技术合作关系。通过产学研用紧密合作，卡贝尼创新成果不断，主要包括以下几个方面：（1）模具设计；自主设计了产品专用成型模具、各种工装夹具等，申请相关专利7项，其中发明专利3项；（2）成型工艺：采用干压成型结合等静压成型工艺，并在成型中加入特殊添加剂，确保小尺寸陶瓷部件坯体具备超高致密度并确保坯体密度的均匀性；（3）配方设计：在生坯中完成孔径加工，减少精加工时间，提高产品成品率；（4）出模工艺：确保超小尺寸坯体能够安全移除模具，避免内裂纹的产生；（5）烧结工艺：反复的烧结实验，总结出产品烧结曲线，精准控制产品烧结伸缩率，保证产品的质量；（6）其他方面：自主设计工装夹具，确保超小尺寸产品精加工可操作性及加工精度，同时提高生产效率；自主配制的清洗剂，适用于超微细孔道内部清洗，确保超小孔径产品达到洁净要求，清洗效果达到美国Lam Research标准，满足半导体行业要求。

近年来，卡贝尼与上海硅酸盐研究所、上海大学、上海理工大学形成产学研合作联盟，并与中微半导体设备（上海）有限公司签订技术合作协议，投入资金购买川西冷等静压设备、磨床、雕刻机、数控车床、检测设备，新增陶瓷清洗线、洁净车间等；从成型、烧结、加工、清洗、包装等各个环节进行的技术研究与应用，形成了年产8000套超小尺寸陶瓷部件的生产能力。

 卡贝尼一直专注于先进陶瓷材料的解决方案，努力推动先进材料的更新发展，经过十多年的研发和生产实践，解决了一直被国外占领的先进陶瓷材料配方、部件生产工艺问题，突破了完全被垄断的大尺寸陶瓷部件的生产技术，成功开发了DOME、 DASE等大尺寸先进陶瓷部件，配套半导体各类装备制造商及应用商，填补了国内空白，打破国外垄断，并可替代进口。

 2016年，卡贝尼携大尺寸先进陶瓷部件参加第十八届中国国际工业博览会新材料产业展，参展产品通过工博会新材料产业专家组评审，荣获新材料展参展产品“二等奖”。同时举行了DOME、BASE等半导体装备用大尺寸先进陶瓷部件新品发布会，赢得在场专家及领导的高度认可。